必赢app网址EV集团和肖特携手证明300-MM光刻纳米

 公司新闻     |      2016-01-10

  EV团体和肖特通力进行,证实300-MM光刻/纳米压印手艺在大致积加强理想/混淆理想玻璃制作中已停当

  结合事情将在EVG的NILPhotonics®才能中间展开,这是一个开放式的光刻/纳米压印(NIL)手艺立异孵化器,同时也是环球独一可及的300-mm光刻/纳米压印手艺线日,奥天时,圣弗洛里安——微电机体系(MEMS)、纳米手艺和半导体市场晶圆键合与光刻装备抢先供给商EV团体(EVG)昔日颁布发表,与特种玻璃和微晶玻璃范畴的天下抢先手艺团体肖特通力进行,证实300-mm(12英寸)光刻/纳米压印(NIL)手艺鄙人一代加强理想/混淆理想(AR/MR)头戴显现装备的波导/光导制作中利用的高折射率(HRI)玻璃晶圆的大致积图案成形已停当。

  此次协作触及EVG的专有SmartNIL®工艺和SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圆,将在EVG位于奥天时总部的NILPhotonics®才能中间停止。肖特将于9月4日至7日在深圳会展中间举办的中国国际光电展览会上展现一款接纳EVG SmartNIL手艺停止图案成形的300-mm SCHOTT RealView™玻璃晶圆。

  300-mm和200-mm SCHOTT RealView™玻璃基板,装配在使用SmartNIL® UV-NIL手艺的EVG® HERCULES® NIL体系

  肖特加强理想卖力人Ruediger Sprengard博士暗示:“将高折射率玻璃晶圆的制作扩大到300-mm,关于完成我们客户满意现今和将来抢先AR/MR装备不竭增加的市场需求所需的范围经济产量来讲相当主要。经由过程通力进行,EVG和肖特彰显了现今300-mm高折射率玻璃制作的装备和供给链的停当性。”

  在此之前,利用光刻/纳米压印手艺对具有光子学使用构造的玻璃基板停止图案成形仅限于200-mm基板。向300-mm晶圆加工的迁徙是将AR/MR头戴显现装备推向群众消耗和产业市场迈出的主要一步。不外,在这些较大的基板上连结高基板质量和工艺平均性是很难掌握的,需求先辈的主动化和工艺掌握才能。EVG的SmartNIL手艺得益于多年的研讨、开辟和尝试,旨在满意纳米图案成形的需求,颠末了现场考证,可以轻松从晶圆级样品尺寸扩大到大面积基板。客岁六月,EVG推出了HERCULES® NIL 300 mm,将SmartNIL引入300-mm制作,满意各类装备和使用的消费需求,此中包罗AR、MR和假造理想(VR)头戴显现装备的光学器件和3D传感器、生物医疗装备、纳米光子学和等离子电子学。

  集成到 SmartNIL® UV-NIL体系的全模块化EVG® HERCULES® NIL 300 mm

  EV团体企业手艺开辟和常识产权总监Markus Wimplinger暗示:“EVG的NILPhotonics才能中间建立于2014年,为光刻/纳米压印手艺供给链中的各个协作同伴和公司与EVG协作供给了一个开放式的立异孵化器,从而收缩立异光子器件和使用的开辟周期和上市工夫。我们很快乐与肖特公司协作,证实EVG光刻/纳米压印手艺处理计划的代价,不惟一助于新手艺和新工艺的开辟,还可以加快新手艺和新工艺在群众市场中的接纳。我们正在联袂肖特展开的事情,彰显了光刻/纳米压印手艺装备和工艺的成熟性,为各类使人镇静的基于光子学的新产物和新使用的300-mm制作奠基了根底。”

  SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圆是抢先AR/MR装备的枢纽组件,曾经完成了批量消费。产物组合供给了高达1.9的折射率,撑持深度沉醉的AR/MR使用,视野更广,高达65度。在与加强理想硬件制作商停止多年研发以后,肖特在2018年推出了第一代SCHOTT RealView™。这款高端产物在上市一年后便荣获了享有盛誉的2019年SID显现行业奖(SID Display Industry Award 2019)。

  肖特是特种玻璃、微晶玻璃和相干高科技质料范畴的抢先国际手艺团体。公司积聚了超越130年的经历,是浩瀚行业的立异协作同伴,此中包罗家用电器、医药、电子、光学、性命科学、汽车和航空业。肖特在环球34个国度和地域设有消费基地和贩卖处事处。公司今朝具有员工超越15500名,2017/2018财年的贩卖额为20.8亿欧元。总部位于德国美因茨的母公司SCHOTT AG由卡尔蔡司基金会(Carl Zeiss Foundation)全资具有。卡尔蔡司基金会是德国汗青最长久的私立基金会之一,同时也是德国范围最大的科学增进基金会之一。作为一家基金公司,肖特对其员工,社会和情况负有特别义务。

  EV团体(EVG)是为半导体、微电机体系(MEMS)、化合物半导体、功率器件和纳米手艺器件制作供给装备与工艺处理计划的抢先供给商。其次要产物包罗:晶圆键合、薄晶圆处置、光刻/纳米压印(NIL)与计量装备,和涂胶机、洗濯机和检测体系。EV团体建立于1980年,可为广泛环球的浩瀚客户和协作同伴收集供给各种效劳与撑持。必赢app下载